RHA-GRENOBLE, Suivi de la fabrication de lots type MEMS en salle blanche en utilisant les techniques classiques de microtechnologies (lithographie, gravure et dépôts) pour détecter des défauts éventuels : contrôle des fins de gravures et stripping resine, observation MEB et mesures au profilomètre ou ellipsomètre. Mise en oeuvre de techniques de gravure par Plasma et intégration de dispositifs semi-conducteurs

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